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智能液体单晶硅绝压变送器

  • 更新时间:  2020-06-14
  • 产品型号:  
  • 简单描述
  • 智能液体单晶硅绝压变送器用于测量液体、气体或蒸汽的压力,然后将压力信号转变成4~20mA DC信号输出。
详细介绍

智能压力变送器由传感器技术与微电子技术结合形成的智能型变送器,因其在功能、精度、可靠性、维护、组态上较常规模拟变送器有很大提高,现阶段已被广泛应用。变送器的智能化主要表现为具有自我监测、远程通讯的能力,及因采用微机械电子加工技术、超大规模的专用集成电路(ASIC)和表面安装技术,而使变送器具有高可靠性、量程范围宽及稳定的温压补偿性能。

传感器模块采用全焊接技术,内部拥有一个整体化的过载膜片,一个压力传感器和一个温度传感器。温度传感器作为温度补偿的参考值。压力传感器的正压侧与传感器膜盒的高压腔相连,传感器的负压侧与传感器膜盒的低压腔相连,压力通过隔离膜片和填充液,传递给传感器内的硅芯片,使压力传感器的芯片的阻值发生变化,从而导致检测系统输出电压变化。该输出电压与压力变化成正比,再由适配单元和放大器转化成一标准化信号输出。

单晶硅压阻式压力传感器工作原理

压阻式压力传感器利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。

当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成比例的变化,再由桥式电路获得相应的电压输出信号。


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